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功能描述：
实现载荷三维平动与三维转动的高精度调节。
核心指标：
三维平动调节分辨率±0.5μm，调节范围可定制；
三维旋转调节分辨率±1″，调节范围可定制；
负载不小于50kg，整体高度小于500mm。
每个自由度均具有电动和手动调节功能，且可锁定。
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单自由度气浮转台
六自由度超低刚度磁悬浮系统
伺服控制器
三自由度气浮转台
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