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功能描述:
实现载荷三维平动与三维转动的高精度调节。
核心指标:
三维平动调节分辨率±0.5μm,调节范围可定制;
三维旋转调节分辨率±1″,调节范围可定制;
负载不小于50kg,整体高度小于500mm。
每个自由度均具有电动和手动调节功能,且可锁定。
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单自由度气浮转台
六自由度超低刚度磁悬浮系统
伺服控制器
三自由度气浮转台
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